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半導體 | 光學缺陷檢測

2024-05-28 09:26:26

半導體中缺陷檢測是半導體制造過程中不可或缺的環節,對于提高產品良率、降低成本、提高生產效率、保障安全性和促進技術進步都具有重要意義。

? 光學無圖形缺陷檢測,包括顆粒物(particle)、殘留物(residue)、刮傷(scratch)等;
? 電子束缺陷檢測;

02

缺陷檢測產品

晶諾微缺陷檢測設備 PULSAR 系列包括 L 系列和 H 系列,PULSAR L 系列及 PULSAR H 系列是應用于電子、半導體工業領域的如 WLP(晶圓***封裝)、PLP(面板***封裝)、晶圓制造前端工藝等,可實現從低分辨率到高分辨率的缺陷檢測、分

1)產品特點

● 測量速度快,產能可以到 6pcs/hr(6inch,0.2um● 設備穩定性和可靠性高;

復查;

● 亞像素的分辨率(1/10 像素);

2)產品規格

● 高速 TDI 線陣掃描;● ● 高分辨率:分辨率低至 0.5um ;

4)運動系統

● 高精度,XY 重復性 ±0.5um 

● 高性能


(文章來源于儀器網)

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