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SmartWLI-Double Z-axis雙軸三維形貌輪廓儀

SmartWLI-Prime雙軸三維形貌輪廓儀

配備0.1nm高分辨率的小量程Z軸和小于100nm分辨率的大量程Z軸

該產品將兩種Z軸方向的移動控制模式整合在***起，是兩種模式***體化，可以實現兩種Z軸移動模式的自由切換，測量范圍從nm水平到mm水平，實現納米分辨率到亞微米分辨率，可測量不同類型的產品，適用于大輪廓形貌到微小形貌的多種應用需求。

v產品特點

1．兩種Z軸移動控制模式，壓電陶瓷馬達控制小量程和步進電機控制大量程,整體測量范圍實現0.1nm~100mm；

2．小量程Z軸實現***大400um的測量范圍，測量分辨率在PSI模式下0.1nm；

3．大量程Z軸實現***大100mm的測量范圍，測量分辨率小于100nm；

4．Z軸方向移動的實現自動控制，通過相關軟件和控制手柄可自動對焦，同時Z軸采用自動拼接技術，實現整體全自動測量；

5．標配壓電陶瓷馬達控制的Z軸測量頭，樣品垂直方向測量***大高度：400um，測量分辨率PSI模式：0.1nm，VSI模式：1nm；

6．可選配不同放大倍數的標準干涉物鏡（2.5X，5X，10X,20X，50X，100X）；

配置控制和快速采集信號采集軟件SmartWLI_VIS。