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BASIS系列OEM氣體質量流量控制器

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-03-29 17:21

品  牌:其他型  號:

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上海非利加實業有限公司

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產品參數

性能

  • 可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(參見零件編號標簽)

  • 可調比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)

  • 校準精度(NIST可溯源):±(1.5%讀數+0.5%滿量程)

  • 可重復性:0.5%滿量程

  • 標準控制器響應時間常數:100ms(可利用PID調節功能調節)

  • 預熱時間:70ms,達到完整精度

工作條件

  • 兼容氣體:空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮(可通過串行連接選擇氣體);訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準(僅使用一種氣體)

  • 工作溫度:0°C至+50°C

  • 大內部壓力(靜態):對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)

  • 耐受壓力:175 psig(190 psia)

  • STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)



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